Исследование процессов формирования структуры тонких пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / В. Е. Обухов

Сохранено в:
Шифр документа: Ба139158, БА139748,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Обухов, В. Е.
Опубликовано: Минск , 1975
Физические характеристики: 23 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br434952
005 20160516194952.0
100 # # $a 20021015d1975 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование процессов формирования структуры тонких пленок  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.04.07 Физика твердого тела  $f В. Е. Обухов  $g Академия наук Белорусской ССР, Отделение физико-технических наук 
210 # # $a Минск  $d 1975 
215 # # $a 23 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—23 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11085  $a ЗОЛОТО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5171280  $a ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15212  $a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.216.2(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.234:548.5(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.04  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-325401  $a Обухов  $b В. Е.  $g Вячеслав Евгеньевич  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar198721  $a Физико-технический институт  $c Минск  $4 595 
712 0 2 $3 BY-CNB-ar153881  $a Академия наук БССР  $c Минск  $b Отделение физико-технических наук  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20021015  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba139158.pdf