Кристаллизация из газовой фазы пленок алмаза и алмазоподобных нитридов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.02.01 / Спицын Алексей Борисович

Сохранено в:
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Спицын, А. Б.
Опубликовано: М. , 2002
Физические характеристики: 26 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br433669
005 20240328161546.0
100 # # $a 20021010d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Кристаллизация из газовой фазы пленок алмаза и алмазоподобных нитридов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.02.01  $f Спицын Алексей Борисович  $g [Моск. гос. ин-т стали и сплавов] 
210 # # $a М.  $d 2002 
215 # # $a 26 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 24-26 (18 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17352  $a МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64787  $a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6349906  $a АЛМАЗОПОДОБНАЯ СТРУКТУРА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56130  $a НИТРИДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 45.09.39  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.02.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-557783  $a Спицын  $b А. Б.  $g Алексей Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20021010  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo