Формирование поверхности Si (111) при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния и адсорбции бора: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Балашев Вячеслав Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад75252,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Балашев, В. В.
Опубликовано: Владивосток , 2002
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br428483
005 20231206135421.0
100 # # $a 20020919d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Формирование поверхности Si (111) при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния и адсорбции бора  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.07  $f Балашев Вячеслав Владимирович  $g [Ин-т автоматики и процессов упр. Дальневост. отд-ния РАН] 
210 # # $a Владивосток  $d 2002 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-24. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2282245  $a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5230782  $a ОКСИД БОРА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36831  $a ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13330  $a КИНЕТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3133  $a АТМОСФЕРНЫЙ ВОЗДУХ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.04  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-530092  $a Балашев  $b В. В.  $g Вячеслав Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020919  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo