Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Панфилов Игорь Владимирович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Панфилов, И. В. |
| Wydane: | М. , 2002 |
| Opis fizyczny: |
22 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||