Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Панфилов Игорь Владимирович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Панфилов, И. В. |
| Publié: | М. , 2002 |
| Description matérielle: |
22 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||