Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Панфилов Игорь Владимирович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Панфилов, И. В. |
| Published: | М. , 2002 |
| Physical Description: |
22 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||