Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Панфилов Игорь Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад74776,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Панфилов, И. В.
Опубликовано: М. , 2002
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br426380
005 20231013092638.0
100 # # $a 20020911d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Панфилов Игорь Владимирович  $g [Ин-т проблем механики РАН] 
210 # # $a М.  $d 2002 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 22 (9 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7358508  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar65923  $a ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14286  $a КОНВЕКТИВНЫЙ ТЕПЛООБМЕН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33416  $a ТЕПЛОВЫЕ ПОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26018  $a ПРОМЫШЛЕННЫЕ УСТАНОВКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 30.17.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-529876  $a Панфилов  $b И. В.  $g Игорь Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020911  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo