Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.03 / Шахно Елена Аркадьевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад74285,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шахно, Е. А.
Опубликовано: СПб. , 2002
Физические характеристики: 28 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br425268
005 20230613084645.0
100 # # $a 20020905d2002 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e 05.27.03  $f Шахно Елена Аркадьевна  $g С.-Петерб. гос. ин-т точ. механики и оптики 
210 # # $a СПб.  $d 2002 
215 # # $a 28 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 26-28 (36 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7358508  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15677  $a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85368  $a ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.03  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-528484  $a Шахно  $b Е. А.  $g Елена Аркадьевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020905  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo