|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
001 |
BY-NLB-br425268 |
005 |
20230613084645.0 |
100 |
# |
# |
$a 20020905d2002 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a ru
|
105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.03
$f Шахно Елена Аркадьевна
$g С.-Петерб. гос. ин-т точ. механики и оптики
|
210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 2002
|
215 |
# |
# |
$a 28 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 26-28 (36 назв.).
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15677
$a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85368
$a ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.35
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.03
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-528484
$a Шахно
$b Е. А.
$g Елена Аркадьевна
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020905
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|