|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br424 |
| 005 |
20240119104059.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930625d1992 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y z 000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математическое моделирование диффузионного перераспределения легирующей примеси при термическом отжиге
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.физ.-мат.наук (05.13.18)
$f БГУ
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 15 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.:с.14-15 (8 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1595507
$a ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a На кремнии
|
| 610 |
0 |
# |
$a Термический отжиг
|
| 610 |
0 |
# |
$a На крэмніі
|
| 610 |
0 |
# |
$a Тэрмічны адпал
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:621.78(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-150423
$a Чеб
$b Е. С.
$g Елена Сергеевна
$c кандидат физико-математических наук
$f род. 1957
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930625
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/1BA1055.pdf
|
