Статистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем: учебно-методическое пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микроэлектронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для специальности 41.01.02 "Микроэлектроника " / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Нелаев, В. В. (род. 1941) |
| Published: | Минск : БГУИР , 2002 |
| Physical Description: |
39 с. : ил., табл. ; 21 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||