Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Новик Александр Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба239350,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Новик, А. В.
Опубликовано: Мн. , 1990
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ОСАЖДЕНИЕ
ПЛЕНКИ
ДИОКСИД КРЕМНИЯ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
АСАДЖЭННЕ
ПЛЁНКІ
Крэмнію двухвокіс
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br419029
005 20180910153215.0
010 # # $d Беспл. 
100 # # $a 20020724d1990 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Новик Александр Владимирович  $g Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1990 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 14-16 (17 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15100  $a ДИОКСИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22115  $a АСАДЖЭННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23809  $a ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Крэмнію двухвокіс 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-371335  $a Новик  $b А. В.  $g Александр Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020724  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/BA239350.pdf 

Схожие документы