Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Завадский Сергей Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад72366, 2Н//180029(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Завадский, С. М.
Опубликовано: Мн. , 2002
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br414149
005 20211111113822.7
100 # # $a 20020619d2002 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Завадский Сергей Михайлович  $g Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Мн.  $d 2002 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 15-19 (15 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19559  $a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34176  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1.002:621.793(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2637692  $a Завадский  $b С. М.  $g Сергей Михайлович  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020619  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br414149&fileID=989949