Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Прудник Александр Михайлович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Прудник, А. М. (род. 1973) |
| 出版: | Мн. , 2002 |
| 實物描述: |
21 с.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | 可用 預訂 | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||