Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Прудник Александр Михайлович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Прудник, А. М. (род. 1973) |
| Апублікавана: | Мн. , 2002 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
21 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||