|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br402485 |
| 005 |
20220223130504.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020423d2002 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Процессы химического осаждения из газовой фазы и свойства фосфор- и борсиликатных стеклообразных слоев
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук
$e 02.00.21
$f Васильев Владислав Юрьевич
$g [Ин-т физики полупроводников Сиб. отд-ния Рос. акад. наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 40 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 37-40 (60 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2148506
$a ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2320
$a АМОРФНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30592
$a СЛОИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar57360
$a СИЛИКАТНОЕ СТЕКЛО
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36841
$a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22258
$a ОТЖИГ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39284
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4348477
$a ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.19
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.25
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.35.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.21
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-519089
$a Васильев
$b В. Ю.
$g Владислав Юрьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020423
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
