|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br394197 |
| 005 |
20220905161223.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020327d2001 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Кинетика химической стадии ионно-лучевой модификации кремния и оптические мезоскопические эффекты в ионно-модифицированных структурах
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук
$e 05.27.01
$f Барабаненков Михаил Юрьевич
$g [Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Рос. акад. наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a пос. Черноголовка (Моск. обл.)
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 46 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 44-46 (26 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24610
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83377
$a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12162
$a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36799
$a ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26909
$a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65394
$a ОПТИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-524107
$a Барабаненков
$b М. Ю.
$g Михаил Юрьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020327
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
