|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br392824 |
| 005 |
20220627160222.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020321d2001 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 05.27.02
$f Оскомов Константин Владимирович
$g Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточной электроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 19 (12 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4185320
$a АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2291006
$a УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1567982
$a ТВЕРДЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11090094
$a АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a углеводородные покрытия
|
| 610 |
0 |
# |
$a вуглевадародныя пакрыцці
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.23
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.02
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-533145
$a Оскомов
$b К. В.
$g Константин Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020321
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
