Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Березина Наталия Вадимовна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Березина, Н. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2001 |
| Физические характеристики: |
27 с., включая обложку : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||