|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br390225 |
| 005 |
20230626081610.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020312d2001 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
$f Березина Наталия Вадимовна
$g [Московский интитут электронной техники (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 27 с., включая обложку
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: c. 26―27 (11 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2494566
$a АТМОСФЕРНЫЕ АЭРОЗОЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6528225
$a АЭРОЗОЛЬНЫЕ ЧАСТИЦЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14322
$a КОНДЕНСАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33386
$a ТЕПЛОВЛАЖНОСТНЫЙ РЕЖИМ ЗДАНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2717787
$a ОПТИМАЛЬНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.93
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.13
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-513201
$a Березина
$b Н. В.
$g Наталия Вадимовна
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020312
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
