Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: 19.04.2001: 27.06.2001 / Грунский Дмитрий Игоревич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Грунский, Д. И. |
| Апублікавана: | Мн. , 2001 |
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ диссертаций
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||