|
|
|
|
|
00000cam0a22000004id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br380708 |
| 005 |
20200303093828.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020131d2001 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 106 |
# |
# |
$a h
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ab
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда
$e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.06
$e 19.04.2001
$e 27.06.2001
$f Грунский Дмитрий Игоревич
$g Учреждение образования "Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники"
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 2001
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: л. 138-147 (144 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15093
$a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35848
$a ФІЗІКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6726825
$a ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 533.9(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.23(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-469586
$a Грунский
$b Д. И.
$g Дмитрий Игоревич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020131
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
9 |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br380708&fileID=831915
|
