Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01: 08.12.2000: 21.02.2001 / Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т электроники
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Щербакова, Е. Н. |
出版: | Мн. , 2000 |
語言: | Русский |
主題: | |
在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|