Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01: 08.12.2000: 21.02.2001 / Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т электроники
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Щербакова, Е. Н. |
| Veröffentlicht: | Мн. , 2000 |
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||