Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01: 08.12.2000: 21.02.2001 / Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т электроники
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Щербакова, Е. Н. |
| Апублікавана: | Мн. , 2000 |
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ диссертаций
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||