Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01: 08.12.2000: 21.02.2001 / Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Щербакова, Е. Н. |
| Опубликовано: | Мн. , 2000 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||