Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01: 08.12.2000: 21.02.2001 / Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т электроники

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад3168,
Вид документа: Диссертации
Автор: Щербакова, Е. Н.
Опубликовано: Мн. , 2000
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ
ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА
КАНДЭНСАВАНЫ СТАН
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ТУГАПЛАЎКІЯ МЕТАЛЫ
ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ
ФАЗАВЫЯ ПЕРАХОДЫ
СТРУКТУРНЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br380687
005 20220505115356.0
100 # # $a 20020131d2000 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $e 08.12.2000  $e 21.02.2001  $f Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 2000 
300 # # $a Библиогр.: л. 161-172 (137 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83953  $a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35611  $a ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34794  $a ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35850  $a ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83954  $a КАНДЭНСАВАНЫ СТАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34795  $a ТУГАПЛАЎКІЯ МЕТАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34176  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35612  $a ФАЗАВЫЯ ПЕРАХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4243867  $a СТРУКТУРНЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 538.91(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 539.216.2(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.04  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-469859  $a Щербакова  $b Е. Н.  $g Елена Николаевна  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020131  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26Ad3168.pdf 

Схожие документы