Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01: 15.03.2001: 05.07.2001 / Нелаев Владислав Викторович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Нелаев, В. В. (род. 1941) |
| Publié: | Мн. , 2001 |
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||