Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01: 15.03.2001: 05.07.2001 / Нелаев Владислав Викторович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Нелаев, В. В. (род. 1941) |
| Published: | Мн. , 2001 |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||