Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01: 15.03.2001: 05.07.2001 / Нелаев Владислав Викторович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Нелаев, В. В. (род. 1941) |
| Veröffentlicht: | Мн. , 2001 |
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||