|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
001 |
BY-NLB-br376500 |
005 |
20210527165234.0 |
100 |
# |
# |
$a 20020115d2001 u y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
200 |
1 |
# |
$a Взаимодействие водорода с железом, золотом и мелкими донорами в кремнии
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 05.27.01
$f Парахонский Андрей Леонидович
$g [Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН]
|
210 |
# |
# |
$a пос. Черноголовка (Моск. обл.)
$d 2001
|
215 |
# |
# |
$a 22 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 20-22.
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32976
$a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5820
$a ВОДОРОД
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-br2203367
$a ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23292
$a ПЕРЕХОДНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar7354006
$a ДОНОРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar10310
$a ЖЕЛЕЗО
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38846
$a ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14176
$a КОМПЛЕКСНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3363877
$a ВОДОРОДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.19
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-510322
$a Парахонский
$b А. Л.
$g Андрей Леонидович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020115
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|