Взаимодействие водорода с железом, золотом и мелкими донорами в кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Парахонский Андрей Леонидович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад61025,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Парахонский, А. Л.
Опубликовано: пос. Черноголовка (Моск. обл.) , 2001
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br376500
005 20210527165234.0
100 # # $a 20020115d2001 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Взаимодействие водорода с железом, золотом и мелкими донорами в кремнии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $f Парахонский Андрей Леонидович  $g [Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН] 
210 # # $a пос. Черноголовка (Моск. обл.)  $d 2001 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 20-22. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5820  $a ВОДОРОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-br2203367  $a ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23292  $a ПЕРЕХОДНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36833  $a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar7354006  $a ДОНОРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10310  $a ЖЕЛЕЗО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38846  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14176  $a КОМПЛЕКСНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3363877  $a ВОДОРОДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-510322  $a Парахонский  $b А. Л.  $g Андрей Леонидович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020115  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo