Структуры металл-диоксид кремния - полупроводник для интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Хатько Вячеслав Владимирович
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Хатько, В. В. |
Publié: | Мн. , 2001 |
Description matérielle: |
39 с.
|
Langue: | Русский |
Sujets: | |
Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|