Структуры металл-диоксид кремния - полупроводник для интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Хатько Вячеслав Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад60146, 2Н//179941(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Хатько, В. В.
Опубликовано: Мн. , 2001
Физические характеристики: 39 с.
Язык: Русский
Предмет:
ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ДЫАКСІД КРЭМНІЮ
ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ
МОП-СТРУКТУРЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ДИОКСИД КРЕМНИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
МВП-СТРУКТУРЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КМОП-ИС
КМОП-ІС
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br370674
005 20211111111630.0
100 # # $a 20011212d2001 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Структуры металл-диоксид кремния - полупроводник для интегральных микросхем  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $f Хатько Вячеслав Владимирович  $g Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Мн.  $d 2001 
215 # # $a 39 с. 
300 # # $a Рез. парал.: рус., белорус., англ 
300 # # $a Библиогр.: с. 30-36 (73 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121097  $a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15101  $a ДЫАКСІД КРЭМНІЮ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34176  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64055  $a МОП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15100  $a ДИОКСИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64056  $a МВП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a КМОП-ИС 
610 0 # $a КМОП-ІС 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-376953  $a Хатько  $b В. В.  $g Вячеслав Владимирович  $c доктор физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20011212  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad60146.pdf 

Схожие документы