Физические основы быстрой термообработки: геттерирование, отжиг ионнолегированных слоев, БТО в технологии СБИС / В. М. Анищик [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба247397, 1Ба247398,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : БГУ , 2001
Физические характеристики: 146, [3] с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br360350
005 20210616093259.0
010 # # $a 985-445-453-3  $b в переплете 
100 # # $a 20011020d2001 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Физические основы быстрой термообработки  $e геттерирование, отжиг ионнолегированных слоев, БТО в технологии СБИС  $f В. М. Анищик [и др.] 
210 # # $a Минск  $c БГУ  $d 2001 
215 # # $a 146, [3] с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58309  $a ГЕТТЕРИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35939  $a ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15689  $a ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15677  $a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121097  $a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33559  $a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58310  $a ГЕТЭРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22259  $a АДПАЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35940  $a ФІЗІЧНЫЯ АСНОВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15678  $a ЛАЗЕРНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15690  $a ЛАЗЕРНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002:621.7  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.21.15  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-271015  $a Анищик  $b В. М.  $g Виктор Михайлович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $3 BY-SEK-381855  $a Горушко  $b В. А.  $g Валентина Алексеевна  $c интегральные схемы 
701 # 1 $3 BY-SEK-241260  $a Пилипенко  $b В. А.  $g Владимир Александрович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
701 # 1 $3 BY-SEK-310685  $a Пономарь  $b В. Н.  $g Владимир Николаевич  $c кандидат физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-337342  $a Понарядов  $b В. В.  $g Владимир Васильевич 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20011020  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo