Химическая обработка в технологии ИМС / В. П. Василевич [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба237618, 1Ба237619,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Полоцк : Полоцкий государственный университет , 2001
Физические характеристики: 258, [1] с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПЛАСЦІНЫ
ХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
ХІМІЧНАЕ ТРАЎЛЕННЕ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br345772
005 20220614130311.0
010 # # $a 985-418-080-8 
100 # # $a 20010725d2001 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Химическая обработка в технологии ИМС  $f В. П. Василевич [и др.] 
210 # # $a Полоцк  $c Полоцкий государственный университет  $d 2001 
215 # # $a 258, [1] с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
320 # # $a Библиография: с. 258―259 (29 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36831  $a ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36833  $a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24621  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПЛАСЦІНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36832  $a ХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36834  $a ХІМІЧНАЕ ТРАЎЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24620  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002:621.357  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-154278  $a Василевич  $b В. П.  $g Владимир Павлович  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-426083  $a Кисель  $b А. М.  $g Анатолий Михайлович  $c химические технологии  $c микроэлектроника 
701 # 1 $3 BY-SEK-426084  $a Медведева  $b А. Б.  $g Анна Борисовна  $c химические технологии  $c микроэлектроника 
701 # 1 $3 BY-SEK-677117  $a Плебанович  $b В. И.  $g Владимир Иванович 
701 # 1 $3 BY-SEK-119444  $a Родионов  $b Ю. А.  $g Юрий Анатольевич  $c кандидат технических наук, микроэлектроника 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar80215  $a Полоцкий государственный университет  $c Новополоцк  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20010725  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 

Схожие документы