Радиационные дефекты междоузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремнии: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10: 19.05.2000: 25.10.2000 / Бел. гос. ун-т

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад2729,
Вид документа: Диссертации
Автор: Челядинский, А. Р. (род. 1945)
Опубликовано: Мн. , 2000
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br331626
005 20190916093146.0
100 # # $a 20010508d2000 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Радиационные дефекты междоузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремнии  $e Дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $e 19.05.2000  $e 25.10.2000  $f Бел. гос. ун-т 
210 # # $a Мн.  $d 2000 
300 # # $a Библиогр.: л. 234-257 (312 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26910  $a РАДЫЯЦЫЙНЫЯ ДЭФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 537.311.322:539.16.04(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-191851  $a Челядинский  $b А. Р.  $g Алексей Романович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20010508  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26Ad2729.pdf