Математическое моделирование технологических процессов на примере автоэпитаксии кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 / Матюшкин Игорь Валерьевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Матюшкин, И. В. |
| Publicado: | Долгопрудный , 2000 |
| Descripción Física: |
16 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||