|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br330227 |
| 005 |
20201014094802.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20010425d2000 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Дьячков Сергей Александрович
$g Московский государственный институт электронной техники (Технический университет)
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2000
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: c. 23–25 (20 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24596
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3170564
$a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381802
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar31993
$a СТЕКЛО
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2758811
$a ЭЛЕКТРОТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a низкотемпературное сращивание
|
| 610 |
0 |
# |
$a нізкатэмпературнае зрошчванне
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-491697
$a Дьячков
$b С. А.
$g Сергей Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20010425
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
