Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности: Автореферат дисссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Новиков Павел Леонидович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Новиков, П. Л. |
| Published: | Новосибирск , 2000 |
| Physical Description: |
19 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||