
Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности: Автореферат дисссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Новиков Павел Леонидович
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Новиков, П. Л. |
Апублікавана: | Новосибирск , 2000 |
Фізіч. характарыстыкі: |
19 с. : ил.
|
Мова: | Руская |
Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|