Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности: Автореферат дисссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Новиков Павел Леонидович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Новиков, П. Л. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2000 |
| Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||