Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности: Автореферат дисссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Новиков Павел Леонидович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад50748,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Новиков, П. Л.
Опубликовано: Новосибирск , 2000
Физические характеристики: 19 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br325820
005 20200910085008.0
100 # # $a 20010404d2000 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности  $e Автореферат дисссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников  $f Новиков Павел Леонидович  $g [Сибирское отделение Российской академии наук] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2000 
215 # # $a 19 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография.: с. 17-19 (27 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2745708  $a ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32364  $a СТРУКТУРООБРАЗОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32374  $a СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35611  $a ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33582  $a ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2282245  $a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14264  $a КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1720201  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5945312  $a ТРЕХМЕРНЫЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13824121  $a ГОМОЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.03.77  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-489150  $a Новиков  $b П. Л.  $g Павел Леонидович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20010404  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo