Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Грунский Дмитрий Игоревич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Грунский, Д. И. |
| 出版: | Минск , 2001 |
| 實物描述: |
21 с. : ил., табл.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | 可用 預訂 | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||