Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Грунский Дмитрий Игоревич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Грунский, Д. И. |
| Publié: | Минск , 2001 |
| Description matérielle: |
21 с. : ил., табл.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||