Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Грунский Дмитрий Игоревич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Грунский, Д. И. |
| Published: | Минск , 2001 |
| Physical Description: |
21 с. : ил., табл.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||