|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br325544 |
| 005 |
20200713110139.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20010403d2001 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
$d bel
$d rus
$d eng
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Грунский Дмитрий Игоревич
$g Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил., табл.
|
| 300 |
# |
# |
$a Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17-18 (16 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36472
$a ФОТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34169
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6726825
$a ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.383-03:621.315.592-026.764(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.232(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-469586
$a Грунский
$b Д. И.
$g Дмитрий Игоревич
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 595
$4 995
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20010403
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br325544&fileID=935656
|
