
Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Стук Алексей Афанасьевич
Guardado en:
Formato: | |
---|---|
Autor principal: | Стук, А. А. |
Publicado: | М. , 2000 |
Descripción Física: |
25 с.
|
Lenguaje: | Русский |
Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|