Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Стук Алексей Афанасьевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Стук, А. А. |
| Published: | М. , 2000 |
| Physical Description: |
25 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||