Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Стук Алексей Афанасьевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Стук, А. А. |
| Апублікавана: | М. , 2000 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
25 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||