Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Стук Алексей Афанасьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад50265,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Стук, А. А.
Опубликовано: М. , 2000
Физические характеристики: 25 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br322547
005 20070615191300.8
100 # # $a 20010319d2000 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Стук Алексей Афанасьевич  $g [Науч.-исслед. физ.-хим. ин-т им. Л.Я.Карпова] 
210 # # $a М.  $d 2000 
215 # # $a 25 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 23-25 (23 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82972  $a ЯДЕРНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24589  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82973  $a ЯДЗЕРНАЕ ЛЕГІРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18852  $a МОНАКРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-490333  $a Стук  $b А. А.  $g Алексей Афанасьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20010319  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo