Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Сорокин Константин Викторович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Сорокин, К. В. |
Опубликовано: | М. , 2000 |
Физические характеристики: |
19 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|